基本信息
文件名称：《SJT集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术规范》.pdf
文件大小：883.36 KB
总页数：112 页
更新时间：2025-12-18
总字数：约8.12万字
文档摘要
中华人民共和国电子行业标准
SJ/XXXX-202X
集成电路工厂工艺循环冷却水系统
工程技术规范
Technicalspecificationforprocesscoolingwatersystemengineeringof
electronicindustrial
（