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文件名称：Citizen Finetech Miyota 红外飞秒激光加工系统 Si基板背面Au薄膜加工 说明书.pdf
文件大小：462.7 KB
总页数：2 页
更新时间：2025-12-18
总字数：约1.23万字
文档摘要
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A19
赤外フェムト秒パルスレーザーによるシリコン基板裏面および背後の金薄膜加工赤外フェムト秒パルスレーザーによるシリコン基板裏面および背後の金薄膜加工