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文档摘要

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ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT290562025

代替/—

GBT290562012

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Determinationofimuritcontentintrichlorosilaneforsiliconeitax—

pypy

Inductivelcouledlasmamasssectrometr

ypppy

2025-10-31发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT290562025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《、、、、、、、、

本文件代替硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼铝磷钒铬锰铁钴

GBT290562012

、、、》,/—,

镍铜钼砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法与相比除结构调整和编

GBT290562012

,:

辑性改动外主要技术变化如下

)、,(,);

增加了锂钠等元素的测定更改了测定范围见第章年版的第章

a120121

)(,);

更改了方法原理见第章年版的第章

b42012