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文档摘要

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宏微复合运动平台：非线性补偿策略与动态特性优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业持续追求高精度、高效率的发展趋势下，宏微复合运动平台凭借其独特的运动特性，成为了满足这一需求的关键设备，在众多领域中发挥着举足轻重的作用。

在半导体制造领域，随着芯片集成度的不断提高以及特征尺寸的持续缩小，对制造设备的精度和效率提出了前所未有的严苛要求。例如，在芯片光刻环节，需要将掩模台上掩模板的图案精确投影到晶圆上，实现集成电路走线光刻到芯片上的功能。传统单级驱动平台难以在百毫米级大行程下达到纳米级的精密作业要求，而宏微二级驱动结构成为了有效的解决方案。宏平台负责在大行程内进行粗定位，微动台叠