Lithography-100型紫外光刻机操作规程

一开机准备

1.刷卡开机。

2.确定光刻机总电源插头插在配电插座上，开启真空泵，检查真空表显示读数

是否正常。

3.开启电脑、设备电源。

二上掩膜、上片

1.检查掩模气管是否插好。

2.放上掩模，将掩模与掩模架上四个定位钉靠紧（注意掩模的正反面），按下

“MASK”按钮将掩模吸到掩模架上（如漏气，检查气管和“掩模”按钮是否

漏气，或者将掩模表面和掩模架安装面擦干净）。

3.测量样品的大致厚度并在软件中设置