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文档摘要

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基于幅值采样技术的光栅信号细分：原理、应用与优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产与科学研究领域，高精度的位移、角度等物理量测量是保障产品质量、提升生产效率以及推动技术创新的关键环节。光栅作为一种基于光学原理制造的高精度位移传感器，凭借其高精度、高分辨率、可靠性强等显著优势，在工业测量、精密制造、航空航天、半导体加工等众多对测量精度要求苛刻的领域中得到了极为广泛的应用。例如，在超精密机床加工过程中，精确测量工作台的位移是确保加工零件达到纳米级精度的前提；在半导体芯片制造中，对光刻机工作台的定位精度要求达到亚纳米级，光栅传感器发挥着不可或缺的作用。

光栅测量系统的核心在于对光