φ100mm高重复性波长移相干涉仪：原理、技术与应用探索

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学技术飞速发展的今天，高精度测量技术已成为众多领域实现突破与创新的关键支撑。无论是半导体制造中对芯片尺寸及表面平整度的严苛要求，还是光学元件加工时追求的纳米级精度，又或是航空航天领域里对零部件性能的极致把控，高精度测量的身影无处不在。在众多高精度测量技术中，波长移相干涉仪凭借其独特的优势脱颖而出，成为了研究和应用的焦点。

波长移相干涉仪基于光的干涉原理，通过精确测量干涉条纹的变化来获取被测物体的表面形貌、厚度、折射率等关键参数。其测量精度可达到纳米甚至亚纳米级别，远远超越了传统测量方法的精度极限