基本信息
文件名称：4H-SiC MESFET器件工艺说明书用户手册.pdf
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总页数：3 页
更新时间：2025-12-24
总字数：约8.93千字
文档摘要
半导体学报V01．28
第28卷增刊Supplement
2007年9月CHINESEJoURNAL0FSEMICoNDUCToRSSep．，2007
4H-SiC
MESFET器件工艺
陈刚’柏