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湿制程考试及答案

一、单项选择题（每题2分，共10题）

1.以下哪种不是常见的湿制程设备？（）

A.光刻机B.清洗机C.蚀刻机D.电镀设备

答案：A

解析：光刻机属于光刻技术设备，不是湿制程设备。清洗机用于清洗，蚀刻机通过化学蚀刻，电镀设备利用电镀液等进行湿制程相关操作。

2.湿制程中蚀刻液的主要作用是（）

A.去除多余的光刻胶B.对特定材料进行腐蚀C.清洗晶圆表面D.增强材料附着力

答案：B

解析：蚀刻液就是专门针对特定材料进行腐蚀，以达到所需图形或去除不需要部分材料的目的。去除光刻胶用显影液等，清洗晶圆表面用清洗液，增强附着