基本信息
文件名称：半导体晶圆PL光谱测试系统 8英寸吸片盘 自动扫描台（兼容2寸、4寸、8寸晶圆） 可升级紫外测量模块 翘曲度测量模块 侧面收集模组 说明书.pdf
文件大小：2.03 MB
总页数：10 页
更新时间：2025-12-24
总字数：约1.06万字
文档摘要
半导体晶圆PL光谱测试系统系统
—荧光光谱/荧光寿命/膜厚/翘曲度/反射率
面向半导体晶圆检测的光谱测试系统
荧光测试
太阳电池荧光光谱的峰值波长、光谱半宽、积分光强、
薄膜硅片α-Si峰强度、荧光寿命与电子/空穴多种形式的辐射
复合相关，杂质或缺陷浓度、组分等密切相关