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基于机器视觉的MEMS微结构平面运动的测量

在MEMS（微机电系统）技术飞速发展的今天，MEMS器件凭借其体积小、重量轻、功耗低、集成度高等优点，被广泛应用于航空航天、生物医疗、消费电子等众多领域。而MEMS微结构的平面运动特性是衡量其性能的关键指标之一，准确测量其平面运动参数对于MEMS器件的设计优化、制造工艺改进以及性能评估都具有至关重要的意义。

机器视觉技术作为一种非接触式测量方法，在MEMS微结构平面运动测量中展现出了显著的优势。与传统的接触式测量方法相比，它不会对微结构的运动产生干扰，能够在不影响器件正常工作的情况下进行测量。同时，机器视觉技术具有高精度、高速度、