基本信息

---

下载

文档摘要

---

半导体Fab厂超纯水管路及二次配系统综合设计指南

引言

??在半导体制造过程中，超纯水是贯穿整个工艺流程的关键性介质，直接接触晶圆表面。其水质的优劣——特别是电阻率、总有机碳、颗粒物和微生物指标——对芯片的良品率、性能和可靠性有着决定性影响。一个卓越的超纯水系统不仅需要生产出符合规格的水，更关键的是要在输送到每一个工艺设备使用点的过程中，维持水质的极致稳定与纯净。本文将系统性地阐述半导体Fab厂中，超纯水管路（一次配）与二次配给水盘系统的设计要点、核心原则及关键注意事项。

第一部分：超纯水管路系统（一次配）设计

一次配系统是指从中央超纯水制备设备到各个工艺区域分配主环路的管网系统，相当于整