基本信息

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文档摘要

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ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT110732025

代替/—

GBT110732007

硅片径向电阻率变化测量方法

Testmethodformeasurinradialresistivitvariationonsiliconwafers

gy

2025-10-31发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT110732025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT110732007硅片径向电阻率变化的测量方法与GBT110732007相比

,:

除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了范围见第章年版的第章

a120071

)();

增加了术语和定义见第章

b3

)(,);

更改了方法原理见第章年版的第章

c420073

)(,);

更改了干扰因素见第章年版的第章

d520074

)()

增加了试剂和材料见第章

e6

)(,);

更改了仪器设备见第章年版的第章

f720075

)();

增加了试验条件