基本信息
文件名称：T_NXCL 017-2022 300 mm 重掺磷直拉硅单晶抛光片.docx
文件大小：54.77 KB
总页数：14 页
更新时间：2025-12-25
总字数：约6.29千字
文档摘要
ICS29.045CCSH82
NXCL
宁夏材料研究学会团体标准
T/NXCL017—2022
300mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
300mmheavilyphosphorus-dopedsinglecrystalineCzochralskisiliconpolished
wafers
2022-12-2发布2022-12-2实施
宁夏材料研究学会发布
I
T/NXCL017—2022
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《