基本信息
文件名称:《半导体用不锈钢洁净管技术要求》.pdf
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总页数:6 页
更新时间:2025-12-26
总字数:约8.14千字
文档摘要

ICS77.140.75

CCSH64

CIEP

中国工业环保促进会团体标准

T/CIEPXXXX—XXXX

半导体用不锈钢洁净管技术要求

Technicalspecificationforstainlesssteelcleantubesforsemiconductorapplications