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文档摘要

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氧化锌薄膜晶体管：性能、制备、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，电子技术已深度融入人们生活的各个层面，从日常使用的智能手机、平板电脑，到高端的人工智能设备、数据中心服务器，无一不依赖先进的电子技术来实现其功能。而半导体材料作为电子技术的核心基础，其性能的优劣直接决定了电子器件的性能与应用范围。薄膜晶体管（ThinFilmTransistor，TFT）作为半导体器件中的关键成员，在平板显示、传感器、集成电路等众多领域发挥着不可或缺的作用。

氧化锌（ZnO）作为一种重要的半导体材料，具备一系列独特且优异的性能，使其在薄膜晶体管的应用中展现出巨大的潜力，进而在半导体