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文档摘要

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配方晶圆用化学镀镍液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

硫酸镍

1

1

1

次磷酸钠

0.5

0.55

0.6

4?戊基邻苯二甲腈

2.8

2.85

2.9

4?(2?甲酸基?3?丙酸基)邻苯二甲腈

1.3

1.35

1.4

8,9?二氨基苯并噻唑

1.5

1.55

1.6

催化剂1,8?二氮杂二环[5.4.0]十一碳?7?烯

0.015

0.0155

0.016

水

800

1000

1200

制备方法在84～86℃下，将硫酸镍、次磷酸钠、4?戊基邻苯二甲腈、4?(2?甲酸基?3?丙酸基)邻苯二甲腈、8,9?二氨基苯并噻唑、催化剂1,8?二氮杂二环[5.4.0]十