基于ICP技术的碲镉汞微台面干法隔离关键技术及性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

碲镉汞（HgCdTe）作为一种重要的窄带半导体材料，在红外探测器领域占据着举足轻重的地位。自20世纪50年代被发现以来，碲镉汞凭借其独特的材料特性，如电子有效质量小、电子迁移率高、响应速度快等，成为了红外探测的首选材料。通过调节Cd组分，HgCdTe的带隙可在0-1.6eV之间连续变化，对应的波长能够完全覆盖短波、中波、长波和甚长波等整个红外波段，这使得基于碲镉汞的红外探测器在军事、航天、工业检测、医学成像等众多领域得到了广泛应用。在军事领域，碲镉汞红外探测器可用于导弹制导、目