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光刻工工艺安全规程

文件名称：光刻工工艺安全规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于光刻工艺过程中的安全管理和操作。制定本规程旨在确保光刻工艺操作人员的人身安全和设备设施的安全，预防事故发生。基本安全原则包括：遵守国家相关法律法规，严格执行安全操作规程，加强安全教育和培训，确保操作人员具备必要的安全知识和技能。

二、作业准备

1.人员准备：

-作业人员应接受光刻工艺安全培训，了解本规程及相关安全知识。

-操作人员应佩戴符合规定的