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光刻系统的组成及工作原理

光刻技术是集成电路制造过程中的关键步骤之一，它用于将电路设计图案精确地转移到硅片上。光刻系统由多个组件组成，每个组件在光刻过程中都扮演着重要的角色。本节将详细介绍光刻系统的各个组成部分及其工作原理。

光刻系统的组成部分

1.光源

光源是光刻系统的核心组件之一，它提供必要的能量来曝光光刻胶。常见的光源类型包括：

汞灯（Hglamp）：传统的汞灯光源，波长范围较广，但现在已经较少使用。

准分子激光器（Excimerlaser）：现代光刻系统中最常用的光源，波长范围在深紫外区（DUV），如KrF激光（248nm）和ArF激光（