基于MEMS的轻量型位姿测量系统关键技术深度剖析与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）技术作为一门多学科交叉的前沿技术，正深刻地改变着众多领域的发展格局。MEMS技术起源于20世纪60年代，当时主要处于理论探索阶段，研究者们开始设想将微型的电子元件和机械系统集成到单个芯片上。到了80年代，微电子制造技术的进步为MEMS的发展提供了契机，微型传感器、微型执行器等微型设备得以成功制造，这些设备凭借微小的机械和电子元件实现复杂功能，在医疗、汽车、航空航天等领域初露锋芒。进