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摘要

随着半导体、生物医药以及精密仪器等领域的迅猛发展，洁净室内存在的气态

分子污染物（AMC）会显著影响产品良率。随着工业生产对空气净化要求的日益

提升，空气过滤技术朝着更高效、更全面的方向发展，集成化学过滤功能的风机过

滤单元（FFU）及其高性能吸附滤材的研发已成为当前科研与产业领域的研究热点。

本文运用Taguchi实验和灰色关联多目标优化方法对化学过滤器与FFU间的装配

结构进行了优化设计，采用多层石墨烯（GM）与聚丙烯腈（PAN）共混静电纺丝、

有机质热解和纤维膜