基本信息
文件名称：微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法标准立项修订与发展报告.docx
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总页数：5 页
更新时间：2025-12-31
总字数：约4.55千字
文档摘要
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《微束分析扫描电子显微术CD-SEM评定关键尺寸的方法》标准发展报告
EnglishTitle:DevelopmentReportontheStandardforMethodofCriticalDimensionEvaluationbyCD-ScanningElectronMicroscopyinMicrobeamAnalysis
摘要
随着半导体制造工艺节点不断向7纳米、5纳米及更先进制程迈进，对集成电路中关键尺寸（CriticalDimension,CD）的精确、快速、无损测量提出了前所未有的挑战。扫描电子显微镜，特别是测长扫描电镜（CD-