多波段短波红外相机光学系统的精密设计与成像质量多维评估

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，短波红外相机在众多领域展现出独特的优势和广泛的应用潜力。短波红外（SWIR，通常指0.9-1.7μm波长范围）成像技术能够探测到肉眼不可见的信息，其成像原理基于目标反射光，与可见光成像类似，但具有更高的成像对比度和更清晰的目标细节表达能力。

在工业领域，半导体晶圆检测中，利用短波红外光能穿透硅片的特性，可检测到硅片内部的裂纹等缺陷，有效防止不良晶圆流入后续环节，降低制造成本；在物品分选方面，通过检测物品对不同波长短波红外光的吸收情况，能准确分析出物品的种类和缺陷等信息，实现谷