集成电路制造工艺

--集成电路测试;;第十一章集成电路测试与可靠性分析;§11.1集成电路测试内容;测试分类说明;测试结构实例;;2.晶圆测试设备;;;3.成品测试设备;谢谢！;集成电路制造工艺

--集成电路测试;;;§11.2集成电路可靠性分析;3.失效率;4.浴盆曲线;4.浴盆曲线;为评价分析产品的可靠性而进行的试验称为可靠性试验。它就是对受试验样品施加一定的应力，(电气应力、气候应力、机械应力或其综合)，在这些应力的作用下，受试样品反应出其性能是否稳定，其结构状态是否完整或是否有所变形，从而判别其产品是否失效:

环境试验：振动、冲击、离心、温度、热冲击、潮热