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文档摘要

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集成电路制造工艺

--洁净设备

单位：江苏信息职业技术学院

微电子教研室

第九章洁净技术

第九章洁净技术

§9.2洁净设备

净化系统

空气过滤器

空气过滤器是主要净化部件，没有过滤器，特别是没有高效过滤器，也就没有洁净技术。

空气过滤器是用来对空气进行净化处理的设备，根据过滤效率的高低，通常分为初效（粗效）、中效和高效过滤器三种类型。为了便于更换，一般做成可拆卸模块：为提高过滤器过滤效率和增大额定风量，可做成袋式或抽屉式。

空气过滤器形式

初效过滤器又称粗效过滤器，主要用于空气初级过滤，过滤粒径在10～100μm范围的大颗粒灰尘。

用于过滤粒径在1～10μm范围灰尘