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文件名称：集成电路制造工艺 课件 6.1 平坦化的基本原理.pptx
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总页数：8 页
更新时间：2026-01-04
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文档摘要
集成电路制造工艺
--平坦化的基本原理单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室
传统的平坦化方法第六章平坦化先进的平坦化技术CMPCMP平坦化的应用平坦化的基本原理本章要点
传统的平坦化方法先进的平坦化技术CMPCMP平坦化的应用平坦化的基本原理本章要点第六章平坦化
§6.1平坦化的基本原理平坦化就是一种移除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。2.平坦化