大功率半导体激光器发散角现有测量方法分析

大功率半导体激光器发散角测量：通常检测激光的原理有光热法、热电法及光电法。其中，光热型探测器对波长无选择性，但响应速慢、灵敏度低、且测量误差大；热电型探测器响应快，但热恢复时间慢，且探测率较低；光电型探测器虽然对波长有选择性，但具有响应快、灵敏度高、性能稳定、测量线性好、噪声低等优点，故选其作为探测元件。在选择PD的型号时，要考虑PD受光面的大小、受光的波长范围、PD的响应度、PD的反响电压的大小、入射角度范围等因素。设计中尽量选取小受光面的PD，当光敏面积小到一定程度后，才能保证器件的结电容足够小，使器件具有很高的响应速度。这种方法要求的探测波长范