基本信息
文件名称：Raith电子束光刻机150-2操作手册.pdf
文件大小：757.39 KB
总页数：35 页
更新时间：2026-01-05
总字数：约4.38万字
文档摘要
NYUNanofabricationFacility
RAITH150TWOSOP
Figure1TheRaith150TWO
1.OVERVIEW
TheRaith150TWOisanultra-highresolution,