基本信息
文件名称：Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd. 武汉颐光科技有限公司 光谱椭偏仪 ME-Mapping 用户手册.pdf
文件大小：1.56 MB
总页数：10 页
更新时间：2026-01-05
总字数：约6.95千字
文档摘要
ME-Mapping光谱椭偏仪
武汉颐光科技有限公司
WuhanEopticsTechnologyCo.,Ltd.
设备介绍
ME-Mapping椭偏仪可以满足大尺寸晶圆的多点自动化扫描测量需求，
自定义绘制测量路径，支持实时显示膜厚分布以及数据汇总。设备采用双
旋转补偿器调制技术，直接测量16