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文档摘要

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基于流体模拟的脉冲调制射频容性氩放电等离子体特性解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

气体放电作为一种重要的物理现象，在现代科技领域中有着广泛的应用，如照明技术、等离子体技术、放电加工技术以及半导体制造等。在这些应用中，射频容性放电技术是一种常用的气体放电方式，常被用于等离子体制备及加工光学薄膜、电子器件等领域。在低气压射频容性放电中，电子加热对于等离子体的产生和维持至关重要。而氩气因其良好的低压放电性质和广泛的应用，成为了射频容性气体放电中的重要气体。

氩气是一种稳定的惰性气体，具有较高的电离能和较低的电子亲和能，在射频电场的作用下更容易形成等离子体，这使得它在材料加工、光谱分析、等离子