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文档摘要

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光电信号检测;一、电荷耦合器件CCD电荷存储

应用：信息存储和处理、光学图像信号转变为电子图像数据。

;CCD是由金属－氧化物－半导体（简称MOS）构成的密排器件。

这种MOS结构，一般是在p型（或n型）Si单晶的衬底上生长一层100－200nm的SiO2层，再在SiO2层上沉积具有一定形状的金属电极（称做栅极），一般是金属铝。;1.MOS电容的热平衡态特性

a）当栅电压VG＝0时，这时在p型半导体中将有均匀的空穴分布（多数载流子）。

此时表面的存在对半导体内电子运动没有影响，半导体中的水平能量线一直延伸到表面，并与表面垂直。金属的费米能级EFM与p型材料费米能级EFP处于同一水平。;b）