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文档摘要

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直拉单晶硅工艺技术

主讲教师：裴迪石油化工学院

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令直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。

令炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。

令炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。

令籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。

令下轴顶端装有石英坩埚，埚内可装入多晶硅料以供拉晶用

直拉单晶炉的需求

为了提高生产效率，降低成本，也为了保证器件参数的一致性、可靠性，都希望直拉单晶大直径化，设备控制高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上，单晶直径达300m