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配方精密抛光研磨液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

复合硅抛光粉

质量分数为30%硅溶胶

10

13

15

硝酸钴

0.1

0.15

0.2

去离子水

60（体积）

75（体积）

90（体积）

硝酸铈

21

26.5

31.5

六亚甲基四胺

34

37

51

去离子水

300（体积）

375（体积）

450（体积）

十二烷基苯磺酸钠

2

2

3

聚乙烯吡咯烷酮

2

2

3

乙醇溶液

质量分数为10%乙醇溶液

100

—

—

质量分数为15%乙醇溶液

—

125

—

质量分数为20%乙醇溶液

—

—

150

次氯酸钠溶液

质量分数为5%次氯酸钠溶液

150

—

—

质量