基本信息

---

下载

文档摘要

---

匀胶热板显影一体机项目需求

序号

具体技术(参数)要求

1

技术参数：

1.片盒单元：

1.1样品兼容尺寸：兼容从120×150mm到200*250mm方片，基板误差范围±1mm；

1.2厚度：0.5～0.7mm，材质：玻璃；

1.3盒站数量：≥2个；

1.4盒站检测：传感器检测；

1.5静电消除器：离子风棒；

2.机器人：

2.1机器人类型：双臂真空吸附机器人；

2.2机器人自由度：≥4轴（R1、R2、Z、T）；

2.3插指材质：基片接触点为非金属材料；

2.4基片固定方式：真空吸附方式；

2.5机器人定位精度：≤0.1mm；

2.6对中数量：≥1套；

2.7对中方式：机械对中；

2.8对