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配方研磨抛光工序用研磨液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

去离子水

电导率小于10

68.4

76.2

70

74.5

聚乙二醇

25

15

20

16

聚乙二醇

工业级的150

2

2

2

工业级的400

3

15

3

3

磷酸酯

工业级的LP700水溶性磷酸酯

1.5

—

1.2

1.3

工业级的ASI?80水溶性磷酸酯

—

1.0

—

—

羧酸胺

十二碳二元酸醇胺

2

2.5

2.3

2.2

非离子表面活性剂

工业级的NP?7

3

—

1.3

1.0

工业级的NP?10

—

3

—

—

植物油酰胺

工业级的二乙醇酰胺(6501)

3

—

2

1.2

工业级