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文档摘要

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正背镀ALD[复制]

1.背膜石墨舟闲置时间较长时需要（）。[单选题]*

A、直接使用

B、下线清洗

C、进炉管烘烤(正确答案)

D、镀舟

2.背膜使用的载片工装为（）。[单选题]*

A、石墨舟(正确答案)

B、石英舟

C、石墨板

D、小推车

3.背膜石墨舟掉片未补片镀膜后会出现那种不良。[单选题]*

A、白点

B、划伤

C、色差(正确答案)

D、吸盘印

4.背膜自动化的作用是（）。[单选题]*

A、自动化装片和卸片(正确答案)

B、吹扫硅片

C、交换干湿花篮

D、改变方向

5.背膜石墨舟掉片时需要用到那种工具取出掉落的硅片。[单选题]*

A、吸笔(正确答案