基本信息

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文档摘要

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基于静电场的超微力测量方案的探索与实验验证

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代工业与科研领域，超微力测量技术占据着极为关键的地位，已成为推动众多前沿科技发展的核心支撑技术之一。在生物医学研究中，细胞、蛋白质等生物分子间的相互作用力通常处于皮牛（pN）到纳牛（nN）量级，精确测量这些微小力对于揭示生物分子的功能、细胞的生理活动以及疾病的发病机制等具有重要意义，能够为药物研发、基因治疗等提供关键数据支持。在微电子制造领域，芯片制造过程中涉及到的光刻、刻蚀、键合等工艺环节，对微小力的控制精度要求极高，超微力测量技术能够确保芯片制造过程中的力作用精准可控，从而提高芯片的性能和良品率。在纳米技术