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文档摘要

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配方研磨液清洗剂

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

氨基磺酸

25

15

20

15

15

有机胺酯TPP

20

20

25

20

15

乙二醇单丁醚

15

15

10

10

15

硅氧烷酮

NEUF815硅氧烷酮

5

5

5

2

10

聚丙烯酸钠

10

10

10

15

10

水杨酸

4

10

10

3

12

去离子水

21

25

20

25

23

制备方法

（1）将去离子水、氨基磺酸、水杨酸和硅氧烷酮按照重量百分份数依次加入到反应釜中，在20～35℃下搅拌10～30min，搅拌速度为60～80rpm，再缓慢加入聚丙烯酸钠搅拌10～30min，冷却至室