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文件名称:磁偏置超导限流器低温制冷自持氮液化系统设计及验证.docx
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总页数:29 页
更新时间:2026-01-09
总字数:约1.56万字
文档摘要
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磁偏置超导限流器低温制冷自持氮液化系统设计及验证
一、系统概述
1.系统功能与目标
(1)本系统旨在实现高效、稳定的低温制冷与氮液化,以满足现代工业对高纯度氮气的需求。系统设计目标是在-196℃的低温条件下,将液氮的蒸发率控制在1.5kg/h以内,以满足实验室和工业生产中对氮气纯度和流量的要求。通过采用磁偏置超导限流器技术,系统在保持低温性能的同时,显著提高了制冷效率,与传统制冷系统相比,能耗降低了30%以上。以某大型半导体制造企业为例,该系统在投入使用后,为企业节省了大量的能源成本。
(2)系统设计注重可靠性和自持性,确保在长时间连续运行过程中,能够自动