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文档摘要

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半导体厂务项目工程管理

项目十

废水系统

任务10-1废水的种类

1.研磨废水

来源：研磨过程、抛光过程、清洗过程等等。。

研磨废水中含有大量的未反应的磨料颗粒（如碳化硼、金刚石、二氧化硅等微米级颗粒）以及从被加工材料表面磨削下来的微小颗粒，以及含有多种添加剂成分：研磨液和抛光液中的表面活性剂、分散剂、pH调节剂等有机成分。

2.含氟废水

来源：含氟化合物、含氟清洗剂等等。。

高浓度氟离子????处理过程复杂

氟化物强腐蚀????耐腐蚀材料

高毒性??????氟离子浓度控制

3.有机废水

来源：有机溶剂和化学物质、清洗剂等等。。

特点：

成分十分复杂

高度毒性