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文件名称：半导体厂务项目工程管理 课件 项目7 气体的分类.pptx
文件大小：11.89 MB
总页数：88 页
更新时间：2026-01-09
总字数：约6.81千字
文档摘要
半导体厂务项目工程管理
项目七
气体的分类
任务7.1大宗气体的介绍
【相关知识】什么是大宗气体
在半导体生产过程中，大宗气体（BulkGases）是指大量使用的气体，它们参与半导体产线几乎全部的生产过程，主要用作环境气、保护气、清洁气和运载气等。
大宗气体的主要种类有压缩干燥空气CDA、氮气N2、氧气O2、氩气Ar、氢气H2、氦气He等。
【相关知识】大宗气体的种类及工艺用途
（1）CDA
CDA是指经过空气压缩机压缩后经干燥压力高于大气压的空气。一般用作厂务系统气动设备如空气泵的气源或者一般冲吹的气体。
【相关知识】大宗气体的种类及工艺用途
（2）氮气
氮气是半导体制造过程中最常用的