半导体厂务项目工程管理

项目七气体的分类

任务7.1大宗气体的介绍

任务7.1大宗气体的介绍【相关知识】什么是大宗气体在半导体生产过程中，大宗气体（BulkGases）是指大量使用的气体，它们参与半导体产线几乎全部的生产过程，主要用作环境气、保护气、清洁气和运载气等。大宗气体的主要种类有压缩干燥空气CDA、氮气N2、氧气O2、氩气Ar、氢气H2、氦气He等。

任务7.1大宗气体的介绍【相关知识】大宗气体的种类及工艺用途（1）CDACDA是指经过空气压缩机压缩后经干燥压力高于大气压的空气。一般用作厂务系统气动设备如空气泵的气源或者一般冲吹的气体。

任务7.1大宗气体的介绍【相关知识】