半导体厂务项目工程管理

项目七气体的分类

任务7-3气柜操作及故障排查

1.系统登陆

1.系统登陆

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

2.换瓶吹扫

3.送气操作

3.送气操作

3.送气操作

3.送气操作

4.气瓶柜故障排查故障类型排查方案输送压力LPT高a.可将调压阀逆时针旋转，减小出口压力（不可调节太大）b.需确认调压阀是否发生内漏输送压力LPT低a.可将调压阀顺时针旋转，增大出口压力（不可调节太大）b.说明机台认使用流量较大钢瓶压力HPT高a.该报警说明钢瓶压力高（HPT），一般发生于液化气体气瓶柜b.可能是