半导体厂务项目工程管理

项目六净化室系统的设计与维护

任务6-2净化风系统

任务6-2净化风系统【全新风机组】全新风机组（Make-upAirUnit，MAU），是一种专为室内环境提供新鲜空气的先进空气调节设备。其核心功能在于根据具体使用环境的需求，实现空气的恒温恒湿控制或提供清新自然的室外空气，从而有效提升室内空气质量与舒适度。

任务6-2净化风系统【风机滤器机组】风机滤器机组（FanFilterUnits，FFU），是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。它巧妙地将风机与高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）相结合，形成了一个独立且高效的空气净化单元，