半导体厂务项目工程管理

项目六净化室系统的设计与维护

任务6-3洁净室环境检测

任务6-3洁净室环境检测【空态检测】空态洁净室是指已经建造完成并具备所有相关服务和功能的洁净室，但尚未安装或运行操作人员操作的设备。此时，洁净室处于无人员、无生产活动干扰的初始状态。空气洁净度检测（核心检测）气流组织检测密封性检测表面洁净度检测。。。。

任务6-3洁净室环境检测【静态检测】静态洁净室是指功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但此时设施内没有操作人员。这种状态下，洁净室已经配备了必要的设备和设施，但尚未开始生产活动。关注空气的物理参数噪声电磁辐射。。。