半导体厂务项目工程管理

项目五排气系统的设计与维护

任务5-1一般废气处理系统

任务5-1一般废气处理系统在半导体器件的制造过程中，需历经诸多复杂的工艺流程。这些流程中使用的药品和气体种类繁多，总数可达数十种，其中包括有毒、有害及具有爆炸危险性的物质。例如，在光刻、蚀刻及清洗环节，会产生酸碱废气；光刻工艺的清洗步骤则会释放有机溶剂废气；而在氧化、扩散和溅镀等工艺过程中，则会产生有毒气体。这些化学材料在密闭空间内使用完毕后，必须通过专业的废气处理排放设施安全地排出室外，并在排放端实施无害化处理，以确保室外环境空气的清洁与安全。因此，废气处理设备在半导体产业制造流程中占据着举足轻重的地位。【