半导体厂务项目工程管理

项目五排气系统的设计与维护

任务5-3酸碱性废气处理系统

任务5-3酸碱性废气处理系统酸/碱废气处理系统对半导体制造中产生的酸性和碱性废气采用分别收集、分别处理的方法。对于含有酸性／碱性物质的废气，半导体厂大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。基于液相化合反应的原理，利用氢氧化钠和稀硫酸分别作为吸收液，对酸碱性废气进行喷淋处理。

任务5-3酸碱性废气处理系统酸/碱废气处理系统使用氢氧化钠作为吸收液进行喷淋。具体来说，当酸性废气（如氯化氢气体HCl）与氢氧化钠（NaOH）接触时，会发生酸碱中和反应，其反应方程式为：HCl+NaOH==NaCl+H