基本信息
文件名称：半导体厂务项目工程管理 课件 项目4 任务4.3 清扫真空系统.pptx
文件大小：11.63 MB
总页数：13 页
更新时间：2026-01-09
总字数：约小于1千字
文档摘要
半导体厂务项目工程管理
项目四动力系统的设计与维护
任务4-3清扫真空系统
任务4-3清扫真空系统清扫真空系统（HV）
任务4-3清扫真空系统清扫真空系统
任务4-3清扫真空系统清扫真空系统气环风机：
例ElmoRietschle2BH1930气环风机
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任务4-3清扫真空系统清扫真空系统TIPS：正确安装和使用清扫真空设备①外部环境上： 明亮少尘、通风性好的建筑物内 机组周围应留有足够的空间 集尘罐的拖出方向应留有足够大的空间 能提供稳定的、足够压力范围的压缩空气
任务4-3