半导体厂务项目工程管理

项目十废水系统

任务10-1废水的种类

任务10-1废水的种类1.研磨废水来源：研磨过程、抛光过程、清洗过程等等。。研磨废水中含有大量的未反应的磨料颗粒（如碳化硼、金刚石、二氧化硅等微米级颗粒）以及从被加工材料表面磨削下来的微小颗粒，以及含有多种添加剂成分：研磨液和抛光液中的表面活性剂、分散剂、pH调节剂等有机成分。

任务10-1废水的种类2.含氟废水来源：含氟化合物、含氟清洗剂等等。。高浓度氟离子????处理过程复杂氟化物强腐蚀????耐腐蚀材料高毒性??????氟离子浓度控制

任务10-1废水的种类3.有机废水来源：有机溶剂和